반도체와 디스플레이 공정에서는 마찰, 분리, 유속 변화 등으로 인해 전하가 축적되면서 정전기가 발생한다. 예를 들어, 웨이퍼와 설비 간의 접촉, 절연체 간의 마찰, 고속 공정에서의 공기 흐름 등이 주요 원인이다. 정전기는 민감한 전자 부품에 전기 방전(ESD)을 일으켜 손상을 초래하고, 제품 불량 및 생산 수율 저하를 유발할 수 있다. 또한, 정전기로 인해 공정 중 먼지가 끌려와 오염을 발생시키고, 디스플레이의 패턴 불량과 같은 미세 결함을 야기한다. 이러한 문제는 품질 저하와 비용 상승으로 이어져, 정전기 방지 기술과 제어 시스템이 중요하다.

자동화와 스마트 팩토리 전문기업 노보(NOVO, 대표 김창범)가 오는 1월 7일부터 10일(현지 시각) 미국 라스베이거스에서 개최되는 CES 2025에서 반도체와 디스플레이 공정 시 발생하는 정전기 문제를 해결하는 솔루션을 선보인다고 밝혔다.

노보가 이번에 선보이는 ‘컨베이어 샤프트 접지 모니터링 시스템’과 ‘eS-Ring’은 반도체와 디스플레이 공정시 발생하는 정전기 문제를 해결한다.

보통 반도체와 디스플레이 공정에서 정전기 축적을 방지하기 위해 컨베이어 샤프트를 접지한다. 공정 중 마찰이나 전하 이동으로 인해 샤프트에 정전기가 축적되면, 전기 방전(ESD)으로 인해 민감한 부품이 손상되거나 공정 불량이 발생할 수 있다. 접지는 정전기를 안전하게 방출하여 이러한 위험을 최소화하고, 제품의 품질과 공정 안정성을 보장하는 데 필수적이다. 그런데 접지만 한다고 해서 정전기 문제가 완전하게 해결되지는 않는다. 이에 정전기 발생전에 사전에 알 수 있다면 보다 안정성과 안정성을 담보할 수 있다.

노보의 시스템은 기존 제품이 컨베이어 샤프트를 접지만 해 사전 감지 기능이 없어 제품 불량 발생시 모니터링이 불가한 반면 실시간으로 장비 접지 상태를 모니터링 하며 개별 샤프트 연결 시 접지저항을 1오옴(Ω)이하로 관리할 수 있다. 이를 통해 컨베이어 샤프트 접지저항 변화에 따른 정전기 불량 위험을 사전에 감지할 수 있어 불량률을 낮추고 비용을 절감할 수 있다.

특허를 획득한 이 시스템은 이미 국내 굴지의 디스플레이 기업 L사에 적용이 되어 꾸준하게 판매량이 증가하고 있으며 여타의 반도체 및 디스플레이 기업들에서 테스트가 진행 중이다.

노보는 씽크소프트와 이번 CES에 함께 참가하며 양사 협업으로 반도체, 디스플레이 산업 제조 현장 생산성을 향상하는 자동화 시스템을 국내외 기업들에게 알리고 시장 규모가 큰 중국 및 해외 시장 개척에 적극 나설 방침이다.

노보의 김창범 대표는 “컨베이어 샤프트 접지 모니터링 시스템과 ‘eS-Ring’은 이미 글로벌 디스플레이 기업에 적용되어 좋은 성과를 내고 있다.”라며, “CES 2025를 통해 해외 반도체 및 디스플레이 기업들에게 우리의 자동화 기술을 널리 알리고, 글로벌 시장 진출을 위한 협업과 파트너십을 확대해 나가겠다.”라고 밝혔다.